El medidor de presión capacitivo mide directamente la presión independientemente del tipo de gas del que se trate. El fundamento físico se basa en evaluar la fuerza que ejerce cada uno de los gases por unidad de superficie. El resultado es la suma parcial de todos los componentes de gas que se encuentren en la cámara de vacío.

El diseño del sensor consiste en un diafragma de superficie conocida S que se deforma proporcionalmente debido a la fuerza F. El resultado de esta deformación se mide mediante un método capacitivo. Se miden cambios o desplazamientos en la membrana que pueden llegar a nanómetros y para ello se aprovechan las medidas eléctricas que resultan de la capacidad en un puente formado por condensadores, en los que la capacidad del condensador que forma la membrana y una placa en el interior del medidor, proporciona una señal que se puede interpolar para calcular cuál es el efecto de la fuerza sobre la membrana. Otro tipo de sensor, utilizando una deformación mecánica, se da en el sensor piezoresistivo.

Las membranas de este condensador están formadas, dependiendo del diseño, por dos diafragmas de material cerámico metalizado (inconel) o bien de acero inoxidable. Dependiendo de las dimensiones del diafragma, así como del espesor del mismo, se obtienen distintos rangos de medidas de presión. En la cámara MARTE contamos con dos sensores capacitivos de temperatura compensada en el rango de 10E-2mbar a 110mbar. Estos sensores son de la marca Pfeiffer modelo CMR 261, montados sobre una brida KF16. Las fuerzas que actúan sobre el diafragma se ven muy reducidas a bajas presiones, por lo que el régimen de lectura mínima de presión no supera los 10E-5mbar. La temperatura influye de manera activa en el resultado de las medidas, ya que cambian la distancia que hay entre las dos membranas, induciendo una medida errónea de la presión. Para corregir esto, se suele instalar un calentador interno que mantiene a temperatura constante el sensor de presión, normalmente a 40ºC.