En algunas aplicaciones, es necesario que en el interior de las cámaras de vacío, se encuentren gases a una determinada presión y una concentración particular. Los modernos sistemas de vacío cuentan con aparatos que permiten mezclar gases, y añadir concentraciones de vapor de agua a bajas presiones. Estos aparatos están formados por los siguientes elementos (figura):
- Un sistema de válvulas que mezcla los distintos gases, ajustando la presión parcial de cada gas.
- Un sistema de evaporación de agua que lo une al conjunto de gases.
- Un control de flujo másico
- Válvula de regulación automática de entrada de gases al sistema de vacío.
- Medidor de vacío, adaptado en cámara principal, que nos da la señal del valor de presión total requerida en cámara de proceso.
- Un espectrómetro de masas, para medir la presión parcial de cada gas.
Finalmente el proceso regula la presión mediante un controlador automático en modo STD, y la composición de los gases, o la medida de la presión parcial de todos los gases, mediante el cuadrupolo.
El aspecto más importante de la creación de atmósferas, está en la regulación de la cantidad de gas que se desea en el interior de la cámara de vacío. Esto se realiza en el último paso antes de la válvula de regulación automática, en el regulador de flujo másico. El método más utilizado para medir el flujo está basado en la transferencia de calor de un gas, o de una mezcla de gases.
En la figura de la izquierda, vemos el resultado de la mezcla de gases mediante un espectro analógico o RGA de la cámara MARTE medido mediante bombeo diferencial. |
