cámaras de ultra alto vacío
localización en SMS
Tecnología de ultra alto vacío
  • Minimización del volumen; Eliminación de las trampas de volumen, así como eliminar los conductos con diámetro pequeño. (el diámetro debe ser mayor que el camino libre medio de las moléculas a la presión de bombeo).
  • No deben existir trampas de volumen en el interior, bien por defectos de las soldaduras (deben de ser interiores), bien por huecos en la tornilleria interior.
  • Los materiales de las cámaras, han de tener una presión de vapor muy pequeña y muy baja porosidad. Normalmente de acero inoxidable: 304, 304L,304LN, 316L, 316LN. Materiales de interior, así como los empleados en la fabricación de componentes para sistemas de UHV: Aluminio (6061 T6, 5454, 5058), Titanio (50A), Niquel, Plata, Oro, Berilio, Cobre, Alumina, y Silicio para las ventanas.
  • Maximización de la velocidad de bombeo.
  • Diseño singular, que permita un horneo homogéneo de todas nuestras cámaras que componen la máquina. De este modo se consigue eliminar todo el vapor de agua y otros residuos adheridos a las paredes interiores de las cámaras.
  • Juntas de cobre en todas las bridas de tipo CF, que garanticen la máxima estanqueidad.
  • Requisitos de máxima limpieza, en el interior de las cámaras. Estas han de ser limpiadas con agua y jabón, tricloroetileno, acetona y alcohol.
  • Solo deben introducirse materiales con baja presión de vapor, evitando en lo posible muestras orgánicas y/o líquidas.
¿Qué es el ultra alto vacío (UHV)?
Se llama UHV, al sistema que se encuentra con una presión por debajo a 1E-7 mbar. (1 Atmósfera = 1013 mbar.). En SMS llegamos a 4E-10 mbar.
Cámaras de ultra alto vacío
Cámaras de ultra alto vacío, diseñadas en el centro de Astrobiología, construidas por talleres CANO, para disponer en un sólo equipo cinco de las más importantes técnicas de caracterización superficial. Lás técnicas són: XPS, AES, UPS, STM, LEED.
Aplicaciones
  • Deposición de peliculas delgadas en óptica y electrónica.
  • Construcción de aceleradores de partículas, separadores de isótopos o cámara de burbujas en física nuclear.
  • Ultra Alto Vacío para el estudio de superficies.
  • Cámaras de simulación espacial.
  • Espectrometría de masas.
  • Microscopía electrónica.
  • Espectroscopía de gases
  • Fabricación de láseres.
zona de descarga de posters y documentación sobre cámaras de ultra alto vacío
XPS | AES | UPS | STM | LEED
© Jesús Manuel Sobrado Vallecillo (www.txus.es)