La tecnología de SMS, esta intimamente relacionada con la tecnología aplicable en ultra alto vacío, por un lado, la tecnología hace posible alcanzar presiones del orden de E-10mbar en breves periodos de tiempo, mediante el empleo de bombas especificas (mecánicas y químicas) y procedimientos mecanicos como es el horneo. luego están los sistemas de medida de estas presiones de manera global y parcial en ppm (partes por millón), y por último la tecnología aplicable a la ciencia que se quiere desarrollar (en el caso de SMS, ciencia de superficies), esta la componen las fuentes de radiación, el microscopio de efecto túnel, el difractometro de electrones de baja energía, el detector de electrones y por último el evaporador molecular.