Uno de los grandes problemas en simulación atmosférica en ambientes con alta presión relativa (pocos mbar), se encuentra en la medida e importancia de la humedad relativa. La humedad relativa depende del rango de vacío (turbulento, laminar o molecular) y de las zonas frías que pueden condensar el agua y con cambios de temperatura crear sobrepresiones. (Este es un problema que se puede presentar cuando se trabaja con bombas criogénicas).

La velocidad de bombeo es también muy importante, ya que es la que determina la velocidad de evaporación y por tanto el percentil de humedad relativa en el interior de la cámara de vacío. La velocidad de bombeo constante permite que la masa de agua disminuya de manera lineal. La humedad relativa depende de la superficie expuesta a la atmósfera. A mayor superficie el ratio de evaporación es mayor para la misma cantdad de agua y el umbral de humedad relativa depende por tanto de la geometría.

La medida de la humedad relativa la efectuamos con un sensor especifico basado en la medida de la capacidad de un condensador cuyo dieléctrico es la atmósfera. El nivel de hidratación modifica la capacidad de este condensador que nos da una medida de la humedad relativa de manera correcta siempre que tengamos en cuenta la temperatura.

También utilizamos el espectrómetro de masas para medir la masa 18 que corresponde al agua.